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Planprüfplatten (Optical Flats)

  • Präzis plane Referenzplatten zur Durchführung optischer Prüfungen
  • Einseitig oder beidseitig optisch plan
  • Kundenspezifische Produktion möglich

Eine Planprüfplatte ist eine Optik mit präzise polierter flacher Oberfläche, die als Referenz zur Bestimmung der Planität einer unbekannten Fläche benutzt werden kann.

Artifex Engineering hat sowohl einseitig als auch beidseitig optisch plane Planprüfplatten im Angebot.

Wir werden gern nach Ihren kundenspezifischen Anforderungen produzieren.

Außerdem haben wir ein Standardangebot an Planprüfplatten aus N-BK7 oder Quarzglas. Wir bieten 2 unterschiedliche Genauigkeitsgrade: λ/10 und λ/20 sind für unsere einseitigen Planprüfplatten, für unsere beidseitigen Planprüfplatten ist λ/10 erhältlich. Die zweite Oberfläche unserer einseitig planen Prüfplatten ist auf Fensterqualität geschliffen, um das Interferenzmuster sehen zu können. Unsere beidseitigen Planprüfplatten sind auf beiden Oberflächen präzise geschliffen und auf die spezifizierte Genauigkeit poliert, so dass beide Oberflächen zu Prüfzwecken genutzt werden können.

Zu jeder Planprüfplatte liefern wir den zugehörigen Zygo® Testbericht.

® Zygo ist eine registrierte Handelsmarke der Zygo Corporation.

Optionales Zubehör: Filzgepolsterter Schutzkoffer mit Schnappschloss.

Wie bei all unseren Optiken werden wir auch diese Artikel gern nach Ihren besonderen Anforderungen produzieren. Unten finden Sie die Bereiche möglicher Spezifikationen:

Abmessungsbereich: 5mm – 600mm

Bestmögliche Passe: λ/20 (DIN: 3/0,1)

Alternativ haben wir eine Reihe Standardartikel im Angebot, die unten näher spezifiziert sind:

Einseitige Planprüfplatten

λ/10 – Katalognummerλ/20 – KatalognummerDurchmesser (mm)Dicke (mm)Material
F1-BK-10-025F1-BK-20-0252512,5BK7
F1-BK-10-030F1-BK20-0303015BK7
F1-BK-10-050F1-BK-20-0505015BK7
F1-BK-10-075F1-BK-20-0757520BK7
F1-BK-10-100F1-BK-20-10010020BK7
F1-BK-10-15015025BK7
F1-BK-10-20020038BK7
F1-FS-10-025F1-FS-20-0252512,5Quarzglas
F1-FS-10-030F1-FS-20-0303015Quarzglas
F1-FS-10-050F1-FS-20-0505015Quarzglas
F1-FS-10-075F1-FS-20-0757520Quarzglas
F1-FS-10-100F1-FS-20-10010020Quarzglas
F1-FS-10-15015025Quarzglas
F1-FS-10-20020038Quarzglas
F1-Z-10-025F1-Z-20-0252512,5Zerodur
F1-Z-10-030F1-Z-20-0303015Zerodur
F1-Z-10-050F1-Z-20-0505015Zerodur
F1-Z-10-075F1-Z-20-0757520Zerodur
F1-Z-10-100F1-Z-20-10010020Zerodur

Die zweite Oberfläche unserer einseitig planen optischen Prüfplatten ist auf Fensterqualität geschliffen, um das Interferenzmuster sehen zu können.

Beidseitige Planprüfplatten

λ/10 – KatalognummerDurchmesser (mm)Dicke (mm)Material
F2-BK-10-0252512,5BK7
F2-BK-10-0303015BK7
F2-BK-10-0505015BK7
F2-BK-10-0757520BK7
F2-BK-10-10010020BK7
F2-BK-10-15015025BK7
F2-BK-10-20020038BK7
F2-FS-10-0252512,5Quarzglas
F2-FS-10-0303015Quarzglas
F2-FS-10-0505015Quarzglas
F2-FS-10-0757520Quarzglas
F2-FS-10-10010020Quarzglas
F2-FS-10-15015025Quarzglas
F2-FS-10-20020038Quarzglas
F2-Z-10-0252512,5Zerodur
F2-Z-10-0303015Zerodur
F2-Z-10-0505015Zerodur
F2-Z-10-0757520Zerodur
F2-Z-10-10010020Zerodur

Unsere beidseitigen Planprüfplatten sind auf beiden Oberflächen präzise geschliffen und auf die spezifizierte Genauigkeit poliert, so dass beide Oberflächen zu Prüfzwecken genutzt werden können.

Interferenzstreifen, die beim Betrachten unter monochromatischen Licht zwischen einer Planprüfplatte und einem Testobjekt entstehen, ermöglichen eine visuelle Bestimmung der Planität der getesteten Oberfläche. Die Genauigkeit der Oberfläche wird angezeigt durch den Krümmungsgrad und den Abstand zwischen den Interferenzstreifen.

Die Planität polierter Oberflächen kann visuell bestimmt werden durch die Bestimmung der Abweichung zwischen der zu testenden Oberfläche und der Oberfläche einer Planprüfplatte. Dies können verschiedenste optische Komponenten sein, die in unterschiedlichsten Anwendungen verwendet werden wie zum Beispiel:  

Überprüfung von Endmaßen auf Abnutzung und Genauigkeit, Überprüfung verschiedener Komponenten wie Fenster, Prismen, Filter, Spiegel etc. Außerdem können Planprüfplatten auch als extrem plane optische Fenster bei anspruchsvollen Anforderungen in der Interferometrie eingesetzt werden.

Eine optische Planprüfplatte nutzt die Eigenschaft der Interferenz, um die Planität einer gewünschten Oberfläche darzustellen. Wird eine Planprüfplatte mit der Oberfläche des Werkstücks in Kontakt gebracht, bildet sich ein Luftkeil. Dieser Luftkeil entsteht durch Bereiche der Planprüfplatte und der Oberfläche des Werkstücks, die sich nicht berühren.

Änderungen in der Dicke des Luftkeils sind verantwortlich für die Form und die Ausrichtung der Interferenzstreifen. Der Krümmungsgrad, den die Interferenzstreifen aufweisen, kann benutzt werden, um die Planität der Oberfläche zu bestimmen. 
Die Bestimmung der Planität einer bestimmten Region einer Oberfläche wird durchgeführt, indem zwei imaginäre parallele Linien gezogen werden, eine zwischen den oberen Enden eines beliegigen Streifens, und die andere am unteren Ende desselben Interferenzstreifens. 
Die Anzahl an Interferenzringen innerhalb dieser Linien ist ein Maß zur Bestimmung der Planität. Planprüfplatten (Optical Flats) 1

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