- Präzis plane Referenzplatten zur Durchführung optischer Prüfungen
- Einseitig oder beidseitig optisch plan
- Kundenspezifische Produktion möglich
Eine Planplatte ist eine präzise polierte ebene Fläche, die als Referenz zur Messung der Ebenheit einer unbekannten Oberfläche verwendet werden kann.
Artifex Engineering bietet Planplatten mit einer oder zwei Referenzflächen an.
Wie alle unsere Optiken liefern wir auch diese Artikel gern kundenspezifisch nach Ihren Anforderungen.
The range of specifications is given below:
- Abmessungsbereich: 5mm – 600mm
- Bestmögliche Passe: λ/20 (DIN: 3/0,1)
Die zweite Oberfläche unserer einseitig planen optischen Prüfplatten ist auf Fensterqualität geschliffen, um das Interferenzmuster sehen zu können.
Bei unseren beidseitigen Planprüfgläsern sind beide Flächen präzise geschliffen und auf die angegebene Genauigkeit poliert, sodass beide Flächen für Prüfzwecke genutzt werden können.
Planprüfgläser: Präzise Referenzflächen für eine kompromisslose Ebenheitsprüfung
Ein Planprüfglas ist eine optische Präzisionskomponente mit einer oder mehreren Flächen, die mit Toleranzen unterhalb der Wellenlänge poliert sind – üblicherweise angegeben als Bruchteile einer Lichtwellenlänge, etwa λ/10 oder λ/20. Es dient als Referenz, um Abweichungen einer unbekannten Oberfläche durch die Erzeugung und Auswertung optischer Interferenzstreifen zu erkennen.
Wird ein Planprüfglas unter monochromatischer Beleuchtung in engen Kontakt mit einer Prüffläche gebracht oder dicht darüber positioniert, macht es selbst feinste Unregelmäßigkeiten mit einer Empfindlichkeit von wenigen Nanometern sichtbar. Diese außergewöhnliche messtechnische Leistungsfähigkeit macht Planprüfgläser zu einem unverzichtbaren Referenznormal überall dort, wo Ebenheit oder Wellenfrontqualität mit absoluter Sicherheit nachgewiesen werden müssen.
Artifex Engineering hat sowohl einseitig auch bezeichnet als („Laserhauben“) beidseitig optisch plane Planprüfplatten im Angebot.
Wir werden gern nach Ihren kundenspezifischen Anforderungen produzieren.
Zusätzlich bieten wir Standard-Planprüfgläser aus N-BK7 oder Quarzglas an.
Für unsere einseitigen Planprüfgläser sind zwei Genauigkeitsstufen erhältlich: λ/10 und λ/20.
Die zweite Oberfläche unserer einseitig planen optischen Prüfplatten ist auf Fensterqualität geschliffen, um das Interferenzmuster sehen zu können.
Für unsere beidseitigen Planprüfgläser ist die Genauigkeit λ/10 erhältlich.
Bei unseren beidseitigen Planprüfgläsern sind beide Flächen präzise geschliffen und auf die angegebene Genauigkeit poliert, sodass beide Flächen für Prüfzwecke genutzt werden können.
Zu jeder Planprüfplatte liefern wir den zugehörigen Zygo® Testbericht.
® Zygo ist eine registrierte Handelsmarke der Zygo Corporation.
Optionales Zubehör: Filzgepolsterter Schutzkoffer mit Schnappschloss.
Warum unsere Planprüfgläser?
Überall dort, wo Ebenheit, Parallelität oder Wellenfrontqualität mit höchster Sicherheit nachgewiesen werden müssen, bieten Planprüfgläser eine bewährte, praxiserprobte Lösung. Erhältlich in verschiedenen Ebenheitsklassen, Oberflächenqualitäten und Substratmaterialien, um Ihre messtechnischen und anwendungsspezifischen Anforderungen exakt zu erfüllen.
Ebenheitsprüfung und Qualitätskontrolle
Überprüfen Sie durch präzise Auswertung von Interferenzstreifen, ob optische und mechanische Komponenten – Linsen, Spiegel, Endmaße und bearbeitete Teile – anspruchsvolle Toleranzvorgaben erfüllen, und sichern Sie so eine gleichbleibende Qualität über alle Fertigungschargen hinweg.
Kalibrierung von Endmaßen und Präzisionsmessgeräten
Gewährleisten Sie rückführbare Maßgenauigkeit in Messlaboren, indem Sie die Ebenheit und Parallelität von Endmaßen, Messflächen von Bügelmessschrauben und anderen kritischen Referenznormalen bestätigen.
Interferometrie und Wellenfrontprüfung
Nutzen Sie Planprüfgläser als zuverlässige Referenzflächen in Fizeau- und anderen Interferometeraufbauten – für eine gründliche Prüfung von Spiegeln, Fenstern und optischen Komponenten während des gesamten Fertigungsprozesses.
Halbleiter- und Fotomaskeninspektion
Stellen Sie die Ebenheit von Fotomasken, Wafer-Chucks und anderen lithografiekritischen Oberflächen im Nanometerbereich sicher und sichern Sie so Genauigkeit und Ausbeute in der Halbleiterfertigung.
Justage von Lasersystemen und Prüfung des Strahlengangs
Unterstützen Sie die präzise Prüfung von Resonatorspiegeln und zugehörigen Komponenten – für eine optimale Strahlkollimation und minimale Wellenfrontverzerrung in hochpräzisen Lasersystemen.
Funktionsfenster und Etalons
Setzen Sie plane, verzerrungsarme optische Elemente als Schutzfenster, Strahlteiler oder Etalons in Lasersystemen, Spektrometern und Teleskopen ein, wo die Qualität der transmittierten Wellenfront entscheidend ist.
Dichtflächen in Vakuum- und Drucksystemen
Kombinieren Sie plane, lecksichere Dichtflächen mit hochwertigem optischem Zugang in Vakuumkammern und druckempfindlichen Sichtfensterbaugruppen.
Referenznormale in Forschung und Lehre
Veranschaulichen Sie Interferenzphänomene und die Grundlagen der Wellenfrontanalyse in physikalischen und technischen Laboren – mit einem Planprüfglas als funktionalem Werkzeug und verlässlichem Lehrmittel zugleich.
Wie Planprüfgläser funktionieren
Ein Planprüfglas nutzt das Prinzip der Interferenz, um die Ebenheit einer zu prüfenden Oberfläche sichtbar zu machen.
Wird ein Planprüfglas, auch Planprüfplatte genannt, mit einer Werkstückoberfläche in Kontakt gebracht, entsteht zwischen beiden ein Luftkeil.
Unter monochromatischem Licht ermöglichen die Interferenzstreifen, die sich zwischen Planprüfglas und Prüfling bilden, eine visuelle Bestimmung der Ebenheit der geprüften Oberfläche.
Die Oberflächengenauigkeit lässt sich an der Krümmung und dem Abstand der Interferenzstreifen ablesen.
Die Ebenheit polierter Oberflächen kann so visuell bestimmt werden, indem die Abweichungen zwischen der Werkstückoberfläche und der Oberfläche des Planprüfglases verglichen werden.
